中文名称： 三甲基一氯硅烷

中文别名： 三甲基氯硅烷; TMCS

英文名称： Chlorotrimethylsilane

英文别名： Trimethylchlorosilane; Trimethylsilyl chloride; Trimethylchlorsosilane; TMS chloride; TMCS

CAS号： 75-77-4

EINECS号： 200-900-5

分子式： C3H9ClSi

分子量： 108.6421

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